是一种多元素分析技术，它使用电感耦合等离子体源将样品分解成其组成原子或离子，并将它们激发到发射特征波长或离子的光的水平；通过液体或溶液样品吸入雾化器或使用激光将固体样品直接雾化成气溶胶，将样品作为气溶胶引入ICP等离子体中